海生晶圆运输机器人HS-Robot-D300MM
HS-Robot-D300mm双臂晶圆运输机器人适用于2寸-12寸规格的晶圆高速搬运，双臂构造大幅提高搬运范围效率，实现双片晶圆同取放，可搭配不同类型的机器人手指满足不同工作的晶圆搬运，满足客户不同工作环境的应用需求，适用于半导体设备、EFEM、涂胶显影设备、清洗设备、检测设备等。
- 重复精度： ±0.1mm
- 手臂类型： 双臂
- 额定电压： AC 200V (1.2KVA), DC 24V (1.2A)
- 型号： HS-Robot-D300MM
- 洁净等级： ISO Class 1
- 晶圆尺寸： 2寸-12寸
- 通讯方式： EtherNet/ RS232
- 工作范围： R1轴|-302mm-+321m、R2轴| -302mm-+321mm、Z轴 | 300mm、θ轴 | 340deg
- 晶圆材质： 透明、半透明、不透明
- 产品参数
- 重复精度： ±0.1mm
- 手臂类型： 双臂
- 额定电压： AC 200V (1.2KVA), DC 24V (1.2A)
- 型号： HS-Robot-D300MM
- 洁净等级： ISO Class 1
- 晶圆尺寸： 2寸-12寸
- 通讯方式： EtherNet/ RS232
- 工作范围： R1轴|-302mm-+321m、R2轴| -302mm-+321mm、Z轴 | 300mm、θ轴 | 340deg
- 晶圆材质： 透明、半透明、不透明
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