海生晶圆运输机器人HS-Robot-S300MM
HS-Robot-S300mm单臂晶圆运输机器人适用于2寸到12寸规格的晶圆高速搬运，可按需选择对应配置的设备布局，可搭配不同类型的机器人手指满足不同工作的晶圆搬运，满足客户不同工作环境的应用需求，适用于半导体设备、EFEM、涂胶显影设备、清洗设备、检测设备等。
- 升降： 240/300/400/500
- Flip旋转： 180°
- 重复精度： ±0.1mm
- 手臂类型： 单臂
- 额定电压： AC 220V (10A)
- 型号： HS-Robot-S300MM
- 洁净等级： ISO Class 1
- 晶圆尺寸： 2寸-12寸
- 臂长： 290mm-376mm
- 通讯方式： EtherNet/ RS232
- Theta旋转： 340°
- 产品参数
- 升降： 240/300/400/500
- Flip旋转： 180°
- 重复精度： ±0.1mm
- 手臂类型： 单臂
- 额定电压： AC 220V (10A)
- 型号： HS-Robot-S300MM
- 洁净等级： ISO Class 1
- 晶圆尺寸： 2寸-12寸
- 臂长： 290mm-376mm
- 通讯方式： EtherNet/ RS232
- Theta旋转： 340°
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