海生晶圆装载系统 HS-LoadPort-200MM
HS-LoadPort 200mm全自动晶圆装载系统可适用于200mm规格的晶圆，内部采用多轴机器人进行传递、真空吸附取放晶圆，能够高效、洁净地完成从FOUP到其他设备之间的自动化运输，适用于半导体设备、EFEM、面板显示制造设备、光伏制造设备等。
- 设备重量： 1550KG
- 额定电压： AC 200-240V， 50/60Hz
- 型号： HS-LoadPort-200MM
- 额定功率： ~3Kw
- 洁净等级： ISO Class 1
- 外形尺寸： 1349mm*472mm*586mm (H*W*L)
- 晶圆规格： 200mm
- FOUP规格： 200mm （SEMI Std. Product)
- 产品参数
- 设备重量： 1550KG
- 额定电压： AC 200-240V， 50/60Hz
- 型号： HS-LoadPort-200MM
- 额定功率： ~3Kw
- 洁净等级： ISO Class 1
- 外形尺寸： 1349mm*472mm*586mm (H*W*L)
- 晶圆规格： 200mm
- FOUP规格： 200mm （SEMI Std. Product)
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